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氦质谱检漏仪

设备是产生、改善并维持真空的装置，包括真空应用设备及真空获得设备。真空系统设备的真空系统是核心，主要由真空获得、真空测量、真空腔体（或容器）以及控制辅助等部件（如真空阀门、管道等）。其在使用过程中如果真空度达不到或者达到真空度速度慢都会影响企业的生产效

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氦质谱测漏仪的准确性

氦质谱测漏仪应用广泛，随着科技的进步，对科研器材要求更加严格；生产工艺的改进，对产线的性能要求更高；以及化工企业，管路的严密性好坏直接关系安全；电厂的管路严密，直接关系到节约多少能源等等。所有这些，都需要使用氦质谱检漏仪来完成检测任务。保证标准漏孔的准确，就是保证氦质谱检漏仪检测结果的准确性。

降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。

工业用氦：氦含量≥99%，≤43℃.

纯氦分三级：优等品氦含量≥99.995%；一等品氦含量≥99.993%；合格品氦含量≥99.99%。

高纯氦分为三级：优等品氦含量≥99.9996%；一等品氦含量≥99.9993%；合格品氦含量≥99.999%。氦气在氦质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用，纯度要求不高，一般选用工业用氦，即氦含量≥99%，≤43℃。