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氦质谱检漏仪

180度非均匀磁场的质谱室设计，对焦准确，灵敏度高。

检漏口耐压高，可检漏率量程宽，大漏小漏全可检。

离子源灯丝采用氧化钇铱金灯丝，寿命长、灵敏度高。

检漏状态下独特的三屏切换，信息更丰富，检漏更方便。

具有快速清氦功能和快速响应功能。检漏状态一键清零。

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氦质谱检漏仪逆扩散原理

对子漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若直接与检漏仪相连，氦质谱检漏仪的真空度可能抽不上去，使氦质谱检漏仪无法工作。此种情况须加接辅助真空系统，提高对被检件的抽速。的辅助真空系统只需一个机械泵和两个阀门，复杂的系统可由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等组成。次级泵可用扩散系或罗茨泵，前级系气镇式机械泵。

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氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。在氦两侧的是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与氦相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找氦峰时，不易受其他离子的干扰