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发布时间:2020-08-05 23:43:12
氦质谱检漏仪
不仅耗能耗时,还会直接影响真空工艺条件,造成产品不合格等重大生产质量问题。究其原因是由于真空系统设备存在泄漏所致,所以真空系统设备的真空系统需要进行检漏。对于由各个组件组成的真空系统,各个组件本身存在的一些工艺瑕疵都会直接影响到系统的固有漏率
以上内容由中科鼎新公司为您提供,希望对同行业的朋友有所帮助。
氦质谱检漏仪性能特点
· 采用进口的多口分子泵
· 操作简单,通常只需进行两键操作(检漏和放气)
· 自动校准
· 自动调零
· 自动量程切换
· 双灯丝自动切换
· 铱丝离子源,使用寿命更长
用原装进口检漏仪专用的分子泵。
有效降低了检漏仪本身的噪音,提高了检漏仪的灵敏度。
180度非均匀磁场的质谱室设计,对焦准确,灵敏度高。
检漏口耐压高,可检漏率量程宽,大漏小漏全可检。
离子源灯丝采用氧化钇铱金灯丝,寿命长、灵敏度高。
检漏状态下独特的三屏切换,信息更丰富,检漏更方便。
具有快速清氦功能和快速响应功能。检漏状态一键清零。
氦在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm),在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小。正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来,灵敏度高。氦的质量小(相对分子质量为4),易于穿过漏孔。
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